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光學厚度測量儀是一種基于光學原理,利用光的反射、折射、干涉等特性,對物體厚度進行高精度測量的設備。隨著科技的不斷發(fā)展,光學厚度測量技術在材料科學、電子制造、涂層檢測等領域發(fā)揮著越來越重要的作用。本文將介紹它的工作原理、應用領域以及其優(yōu)勢。一...
1.2金屬鍵合對于高亮度垂直LED(high-brightnessverticalLED,HB-VLED)來說,鍵合界面必須具有高熱導和高電導的性能,幸運的是大部分金屬材料導熱性能好的同時導電性能也較好,使金屬鍵合技術成為目前LED產(chǎn)業(yè)中最常使用的鍵合技術,即以金屬膜為中間層實現(xiàn)晶圓對的連接。金屬鍵合技術提供了高熱導、低電阻、電流分布均勻及光吸收少的鍵合界面,無論是對于AlInGaP紅光LED還是對于InGaN藍光LED,采用金屬鍵合技術都能有效提高其熱學、電學和光學性能,因...
0引言發(fā)光二極管(light-emittingdiode,LED)照明是利用半導體的電致發(fā)光發(fā)展而來的固態(tài)照明技術。自1907年第一只發(fā)光二極管問世,到20世紀90年代,人們對LED的研究進展緩慢,期間使用GaAs和InP等第二代半導體材料為光源的LED僅應用在光電探測及顯示領域。直到20世紀90年代中期,日本的中村修二發(fā)明了世界上DI一只超高亮度的GaN基LED,照明領域的大門才向LED打開。GaN作為繼第一代半導體材料Si,Ge和第二代半導體材料GaAs,InP等之后的第...
01引言數(shù)據(jù)中心、電信網(wǎng)絡、傳感器和用于人工智能高級計算中的新興應用,對于低功耗和低延遲的高速數(shù)據(jù)傳輸?shù)男枨蟪尸F(xiàn)出指數(shù)級增長。我們比以往任何時候都更加依賴這些應用來確保這個世界更安全、更高效。在所有這些市場中,硅光子學(SiPh)在實現(xiàn)超高帶寬性能方面發(fā)揮著關鍵作用。因此,開發(fā)能夠經(jīng)濟高效地擴大硅光子產(chǎn)品生產(chǎn)的解決方案比以往任何時候都更加重要。雖然通過使用標準半導體大規(guī)模生產(chǎn)工藝和現(xiàn)有基礎設施,SiPh的晶圓制造能力已經(jīng)成熟,但SiPh的封裝解決方案仍然是大規(guī)模商業(yè)化的關鍵瓶...
相較上一代平臺,全新自動掩模對準系統(tǒng)(IQAlignerNT)產(chǎn)出率和對準精度提升兩倍,為EVG光刻解決方案帶來了全新應用微機電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術以及半導體市場晶圓鍵合和光刻設備LINGXIAN供應商EVG集團(EVG)近日宣布推出IQAlignerNT,旨在針對大容量XIANJIN封裝應用推出的全新自動掩模對準系統(tǒng)。IQAlignerNT光刻機配備了高強度和高均勻度曝光鏡頭、全新晶圓處理硬件、支持全局多點對準的全200毫米和全300毫米晶圓覆蓋、以及優(yōu)化的工具軟件。...
1.介紹對電子設備性能和靈活性的新要求正在使制造基礎架構從傳統(tǒng)的基于掩模的光刻技術轉變?yōu)橛糜诟呒壏庋b和異構集成的數(shù)字光刻技術。片上系統(tǒng)正在從單片解決方案轉向封裝,小芯片和功能塊中的模塊化系統(tǒng)。因此,對于可擴展和通用后端光刻的需求不斷增長,以實現(xiàn)封裝和系統(tǒng)級的互連。為了滿足這一新的行業(yè)愿景,需要能夠通過高級封裝快速集成新穎功能元素的大規(guī)模生產(chǎn)新工具。大批量制造(HVM)行業(yè)必須超越保守的芯片圖案設計,并進入數(shù)字光刻技術的新時代。EVGroup開發(fā)了MLE™(無掩模曝...