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細(xì)說光學(xué)膜厚儀的應(yīng)用、優(yōu)點(diǎn)以及使用注意事項(xiàng)

更新時(shí)間:2021-05-26  |  點(diǎn)擊率:1539
  光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測(cè)量?jī)x器,一般會(huì)運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢,這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。
  
  典型應(yīng)用領(lǐng)域:
  半導(dǎo)體制造業(yè),光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測(cè)量;
  生物醫(yī)學(xué)原件:聚合物/聚對(duì)二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層;
  微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡;
  液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導(dǎo)電透明膜。
 
  儀器的使用優(yōu)點(diǎn):
  1、測(cè)量數(shù)據(jù)多樣:可以測(cè)得物體的膜厚度和n,k數(shù)據(jù),這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點(diǎn);
  2、測(cè)量快速:光學(xué)膜厚儀的測(cè)量過程非??焖伲?yàn)樵撛O(shè)備采用了先進(jìn)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能夠極大程度的提升測(cè)量效率,相比于其他類型膜厚測(cè)量設(shè)備來說顯得非常輕巧方便;
  3、非接觸式測(cè)量:光學(xué)膜厚儀采用的原理是通過光的反射原理對(duì)膜層厚度進(jìn)行測(cè)量,屬于非接觸式測(cè)量方法,不會(huì)對(duì)樣品造成任何損傷,能夠保證樣品的完整性;
  4、適用范圍廣:光學(xué)膜厚儀的適用范圍非常廣泛,從普通家用到工廠的工業(yè)生產(chǎn),再到大學(xué)實(shí)驗(yàn)室和科學(xué)研究所,都可以看到它的身影,由此可見它的使用范圍極其廣泛,能夠作業(yè)的場(chǎng)合也變得更加多樣化。
 
  光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng):
  1、零點(diǎn)校準(zhǔn):在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn),因?yàn)橹暗臏y(cè)量參數(shù)會(huì)影響該次對(duì)物體的測(cè)量,零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測(cè)量有參數(shù)的影響,能夠降低測(cè)量的結(jié)果的誤差,使測(cè)量結(jié)果更加精確。
  2、基體厚度不宜過?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對(duì)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)基體不宜過薄,否則會(huì)極大程度的影響儀器的測(cè)量精度,造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確,影響測(cè)量過程的正常進(jìn)行。
  3、物體表面粗糙程度:對(duì)于被測(cè)物體的表面不宜太過粗糙,因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌洌档土斯鈱W(xué)膜厚儀的測(cè)量精度,造成很大的誤差。所以被測(cè)物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑,以保證測(cè)量結(jié)果的精確性。
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